一種自適應(yīng)拋光頭

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111363038.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113910100A 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113910100A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) B24B37/10（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B41/047（2006.01）I;B24B55/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 楊兆明;謝亞楠;李曉峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯暉裝備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張春輝
地址 314499浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)隆興路118號(hào)內(nèi)主辦公樓3樓370室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種自適應(yīng)拋光頭，包括：固定座和設(shè)置在固定座下方的固定板，固定板下方設(shè)置有底板總成，固定板與底板總成之間夾設(shè)有密封膜，底板總成的底面設(shè)置有用于吸附晶圓的吸附墊。固定板與密封膜之間設(shè)置有第一加壓區(qū)，第一加壓區(qū)和底板總成之設(shè)置有用于連接底板總成的限位塊，密封膜設(shè)置在限位塊的下方；固定座的頂面向下貫穿至第一加壓區(qū)設(shè)置有第一加壓通道，固定板的頂面向下貫穿至第一加壓區(qū)設(shè)置有調(diào)整座；調(diào)整座下方安裝有調(diào)整柱，調(diào)整柱用于限位防止限位塊和底板總成向下脫落；當(dāng)限位塊受力向上移動(dòng)時(shí)，限位塊將脫開調(diào)整柱的限位，令第一加壓區(qū)與限位塊的下方連通，從而將第一加壓區(qū)的氣體充入密封膜內(nèi)，密封膜充氣可膨脹。