接觸式厚度測(cè)量裝置、使用該裝置的系統(tǒng)及其測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010236288.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111272058A 公開(公告)日 2020-06-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN111272058A 申請(qǐng)公布日 2020-06-12
分類號(hào) G01B7/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 葉勝錢;周新聊;李濤;夏濱;張生海;田勇;楊海明 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京二十一世紀(jì)科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京開陽(yáng)星知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊中鶴
地址 100096北京市海淀區(qū)建材城東路26號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及厚度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種接觸式厚度測(cè)量裝置、使用該裝置的系統(tǒng)及其測(cè)量方法。包括第一卡件、第二卡件、伸縮部、第一導(dǎo)向部、第二導(dǎo)向部、基座部以及位移傳感部,伸縮部的其中一個(gè)伸縮端用于驅(qū)動(dòng)第一卡件沿第一導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng),伸縮部的另一個(gè)伸縮端用于驅(qū)動(dòng)第二卡件沿第二導(dǎo)向部運(yùn)動(dòng),第一卡件與第二卡件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)方向平行于伸縮部的伸縮方向,第一卡件與第二卡件之間形成測(cè)量口,基座部用于為第一導(dǎo)向部和第二導(dǎo)向部提供支撐,位移傳感部用于測(cè)量伸縮部的位移量。本方案避免了需要對(duì)被測(cè)物體位置進(jìn)行調(diào)整的過(guò)程,有效的減少了機(jī)械設(shè)備的投入,降低了測(cè)量的難度,提高了測(cè)量的精度,降低了生產(chǎn)成本,使得測(cè)量過(guò)程更為快速高效。??