一種單晶碳晶納米鍍膜方法及反應(yīng)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910207690.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109763168A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-05-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109763168A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-05-17 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/04（2006.01）I; C30B25/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 盧國(guó)東; 陳密; 顧風(fēng)軍; 瞿如娟; 黎川 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州彩生新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都為知盾專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李漢強(qiáng);楊宜付 |
| 地址 | 215400 江蘇省蘇州市太倉(cāng)市城廂鎮(zhèn)鄭和中路309號(hào)2幢502室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶碳晶納米鍍膜方法及反應(yīng)器，其包括一面敞口的爐體和面板，所述面板安裝在爐體的敞口面上整體形成封閉的反應(yīng)器，所述爐體內(nèi)設(shè)置有隔板，隔板一端安裝在爐體內(nèi)側(cè)壁上，另一端設(shè)置為向上傾斜翹起，所述隔板上還設(shè)置有兩擋板，兩擋板之間形成基材放置區(qū)域；所述爐體的上端面設(shè)置有銅柱和進(jìn)氣口，下端面設(shè)置有銅柱和出氣口，爐體的一側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)氣口，另一個(gè)相對(duì)的側(cè)壁上設(shè)置有激光口。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、鍍膜效率高，具有較好的市場(chǎng)推廣價(jià)值和應(yīng)用前景。 |
