一種晶圓取放機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121442334.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216054630U 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN216054630U 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏儉波;李青樺;陳志剛;徐鵬飛 申請（專利權）人 紹興中芯集成電路制造股份有限公司
代理機構 紹興市知衡專利代理事務所（普通合伙） 代理人 鄧愛民
地址 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠街道臨江路518號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種晶圓取放機構，主要針對操作空間受限場景下使用，包括機械臂、固定座、軟質彈性體以及真空軟管，真空軟管一端連接真空源，另一端連接軟質彈性體；機械臂上設有凹槽，固定座被固定安裝在凹槽底面上，軟質彈性體固定安裝在固定座上，軟質彈性體的頂面高于凹槽兩側的機械臂表面。為了節(jié)約成本，軟質彈性體可以采用橡膠材質，同時固定座厚度小于凹槽深度，但需保證軟質彈性體頂面至機械臂底面總厚度符合操作空間允許值；考慮到一旦吸力過大且橡膠老化，晶圓容易與機械臂發(fā)生碰撞劃傷，還可以將固定座厚度增加至與凹槽深度相同，軟質彈性體更換為碳纖維且降低其高度即可。