一種蜂窩狀濕法黑硅絨面結(jié)構(gòu)及其制備方法以及黑硅電池及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711005958.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107742662B 公開（公告）日 2019-09-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN107742662B 申請(qǐng)公布日 2019-09-20
分類號(hào) H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李璐;陳淳;孫杰;高楊;羅小鋼 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西瑞晶太陽能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 江西瑞安新能源有限公司
地址 338000 江西省新余市渝水區(qū)新興工業(yè)產(chǎn)業(yè)園大一路22號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種蜂窩狀濕法黑硅絨面結(jié)構(gòu)及其制備方法以及黑硅電池及其制備方法，涉及黑硅電池制備技術(shù)領(lǐng)域。一種蜂窩狀濕法黑硅絨面結(jié)構(gòu)的制備方法包括：將金剛線多晶硅片通過濕法黑硅槽式挖孔設(shè)備進(jìn)行挖孔作業(yè)；將完成挖孔作業(yè)后的產(chǎn)物通過RENA鏈?zhǔn)皆O(shè)備進(jìn)行擴(kuò)孔作業(yè)，并在RENA鏈?zhǔn)皆O(shè)備的堿洗槽內(nèi)的堿洗液中添加NH3.H2O和H2O2，在酸洗槽內(nèi)的酸洗液中加H2O2。此方法可以制備得到質(zhì)量?jī)?yōu)良的理想型的蜂窩狀濕法黑硅絨面結(jié)構(gòu)，充分的利用了現(xiàn)有多晶生產(chǎn)設(shè)備，有效降低的設(shè)備采購(gòu)/改造成本。制備得到的黑硅電池的外觀性能良好，電性能優(yōu)異，具有較大的市場(chǎng)化推廣價(jià)值。