一種薄膜折射率獲取方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201611221739.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN106711282B | 公開（公告）日 | 2018-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106711282B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-24 |
| 分類號(hào) | H01L31/18;H01L31/0216 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李璐;高楊;孫杰;羅小剛;高慧慧;杜靈 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江西瑞晶太陽能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 江西瑞安新能源有限公司 |
| 地址 | 338019 江西省新余市渝水區(qū)下村工業(yè)基地大一路22號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種薄膜折射率獲取方法及裝置，屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域。所述方法應(yīng)用于PECVD鍍膜工藝中，所述方法包括：根據(jù)至少一個(gè)預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)獲得所述至少一個(gè)預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)中的每個(gè)預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)在輝光時(shí)的電壓參數(shù)；根據(jù)電壓與折射率對(duì)照表獲得每個(gè)電壓參數(shù)對(duì)應(yīng)的折射率；根據(jù)獲得的每個(gè)折射率和每個(gè)折射率相對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)占總鍍膜參數(shù)的時(shí)間占比，利用折射率公式獲得薄膜的總折射率，其中，所述總鍍膜參數(shù)為所有的預(yù)設(shè)鍍膜參數(shù)的總和。該方法可以提前預(yù)知薄膜的折射率情況，能及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題，早做調(diào)整，具有監(jiān)控的及時(shí)性，從而生產(chǎn)出的薄膜可以提高電池的轉(zhuǎn)化效率。 |
