局部放電測試用的陶瓷基板固定治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121295979.1 申請日 -
公開（公告）號 CN215198361U 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN215198361U 申請公布日 2021-12-17
分類號 B07C5/344（2006.01）I;B07C5/02（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 周軼靚;賀賢漢;王斌;葛荘;顧鑫;吳承侃 申請（專利權）人 上海富樂華半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 上海申浩律師事務所 代理人 陸葉
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路181號3幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及半導體制造技術領域。局部放電測試用的陶瓷基板固定治具，包括底座，底座包括從下至上設置的電極底座、下彈性層以及下金屬片，下金屬片設有向下延伸的下延伸條，下延伸條與電極底座接觸連接，電極底座的材料是導電材料；還包括蓋板，蓋板包括從上至下設置的探針蓋板、上彈性層以及上金屬片，上金屬片設有向上延伸的上延伸條，上延伸條與探針蓋板接觸連接，探針蓋板的材料是導電材料；底座與蓋板之間用于夾持陶瓷基板。本專利可針對翹曲度較大的覆銅陶瓷基板進行局放測試。通過上金屬片實現(xiàn)了金屬陶瓷基板孤島狀金屬單元導通，實現(xiàn)了一次性測試整片母板，實現(xiàn)了金屬陶瓷基板局放高效測試。