一種射頻電源的調(diào)諧方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111020439.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113472319A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113472319A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) H03J7/04（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 邱文杰;劉洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川英杰電氣股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 韓洋
地址 618000四川省德陽市金沙江西路686號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種射頻電源的調(diào)諧方法，其中射頻電源包括頻率控制模塊、閉環(huán)控制器，通過改變射頻電源頻率，在復(fù)數(shù)平面中建立相應(yīng)的曲線；以復(fù)數(shù)平面中任意一點(diǎn)作為起點(diǎn)，以復(fù)數(shù)平面的原點(diǎn)或原點(diǎn)附近的一點(diǎn)為終點(diǎn)，并以起點(diǎn)和終點(diǎn)作參考矢量；判斷曲線是否為目標(biāo)曲線，若不是目標(biāo)曲線，則通過曲線變換得到修正曲線；所述參考矢量將目標(biāo)曲線或修正曲線分成左右區(qū)域；根據(jù)目標(biāo)曲線或修正曲線上的復(fù)數(shù)值處于左右區(qū)域的位置調(diào)節(jié)射頻電源的頻率。本發(fā)明所提供的射頻電源調(diào)諧方法計(jì)算方式簡(jiǎn)單高效、并且本方法能夠克服現(xiàn)有技術(shù)無法對(duì)非目標(biāo)曲線進(jìn)行頻率調(diào)節(jié)的缺陷，具有更強(qiáng)的適應(yīng)性。