一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的多層可變間距晶圓搬送機(jī)械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023178194.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214099609U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214099609U 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 古市昌稔;胡啟凡;武一鳴 申請（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的多層可變間距晶圓搬送機(jī)械手，包括電機(jī)、主動(dòng)帶輪、從動(dòng)帶輪、同步帶、滾珠絲杠組件，所述滾珠絲杠組件包括M個(gè)并列的滾珠絲杠單元，每個(gè)滾珠絲杠單元的下端固定從動(dòng)帶輪，所述電機(jī)連接主動(dòng)帶輪，所述同步帶纏繞在所述主動(dòng)帶輪和從動(dòng)帶輪上，所述電機(jī)通過同步帶帶動(dòng)所述滾珠絲杠單元；所述滾珠絲桿單元包括N個(gè)滾珠絲杠，且所述N個(gè)滾珠絲杠通過聯(lián)軸器連接；所述滾珠絲桿連接執(zhí)行器；M和N均為大于0的整數(shù)。本實(shí)用新型提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的多層可變間距晶圓搬送機(jī)械手，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定可靠的等間距調(diào)節(jié)，本實(shí)用新型模組調(diào)節(jié)精度高，間距重復(fù)定位精度可以精確到0.02mm以下。