一種用于半導體設備的多層可變間距晶圓搬送機械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023178194.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214099609U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214099609U 申請公布日 2021-08-31
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 古市昌稔;胡啟凡;武一鳴 申請（專利權）人 上海廣川科技有限公司
代理機構 上海天辰知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于半導體設備的多層可變間距晶圓搬送機械手，包括電機、主動帶輪、從動帶輪、同步帶、滾珠絲杠組件，所述滾珠絲杠組件包括M個并列的滾珠絲杠單元，每個滾珠絲杠單元的下端固定從動帶輪，所述電機連接主動帶輪，所述同步帶纏繞在所述主動帶輪和從動帶輪上，所述電機通過同步帶帶動所述滾珠絲杠單元；所述滾珠絲桿單元包括N個滾珠絲杠，且所述N個滾珠絲杠通過聯(lián)軸器連接；所述滾珠絲桿連接執(zhí)行器；M和N均為大于0的整數。本實用新型提供的一種用于半導體設備的多層可變間距晶圓搬送機械手，能夠實現(xiàn)穩(wěn)定可靠的等間距調節(jié)，本實用新型模組調節(jié)精度高，間距重復定位精度可以精確到0.02mm以下。