一種基于加速度傳感器的晶圓定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023178211.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213752659U 公開（公告）日 2021-07-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN213752659U 申請(qǐng)公布日 2021-07-20
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董懷寶;劉恩龍;高飛翔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號(hào)1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于加速度傳感器的晶圓定位裝置，包括晶圓盒以及位于晶圓盒一側(cè)的檢測單元，所述晶圓盒自上而下設(shè)置用于承載晶圓的裝載臺(tái)；所述檢測單元包括控制器、檢測框架以為位于檢測框架中的滑軌、限位傳感器、加速度傳感器、檢測蓋和晶圓掃描傳感器；其中，所述晶圓掃描傳感器和加速度傳感器固定在所述檢測蓋上，所述限位傳感器固定在所述檢測框架一側(cè)；所述檢測蓋沿著所述滑軌上下移動(dòng)；所述限位傳感器、加速度傳感器和晶圓掃描傳感器連接至控制器；本實(shí)用新型提供的一種基于加速度傳感器的晶圓定位裝置及方法，能夠快速準(zhǔn)確地確定晶圓盒中晶圓的位置，且整個(gè)檢測裝置占地面積小，成本較低。