一種基于激光傳感器的晶圓定位裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023178292.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213635939U 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213635939U 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) H01L21/68 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董懷寶;張加鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444 上海市寶山區(qū)山連路799號(hào)1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于激光傳感器的晶圓定位裝置，包括晶圓盒以及位于晶圓盒一側(cè)的檢測(cè)單元，所述晶圓盒自上而下設(shè)置用于承載晶圓的裝載臺(tái)；所述檢測(cè)單元包括控制器、檢測(cè)框架以為位于檢測(cè)框架中的滑軌、激光測(cè)距傳感器、激光擋板、檢測(cè)蓋和晶圓掃描傳感器；其中，所述晶圓掃描傳感器和激光擋板固定在所述檢測(cè)蓋上，所述激光測(cè)距傳感器固定在所述檢測(cè)框架一側(cè)；所述檢測(cè)蓋沿著所述滑軌上下移動(dòng)；所述激光測(cè)距傳感器、激光擋板和晶圓掃描傳感器連接至控制器。本實(shí)用新型提供的一種基于激光傳感器的晶圓定位裝置，能夠快速準(zhǔn)確地確定晶圓盒中晶圓的位置，且整個(gè)檢測(cè)裝置占地面積小，安裝簡(jiǎn)便。