一種可變間距的晶圓檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120419188.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214201803U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214201803U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) G01V8/12（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 武一鳴;古市昌稔 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號(hào)1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供的一種可變間距的晶圓檢測(cè)裝置，包括機(jī)械臂、連接板和末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器位于連接板的一端，所述連接板中與所述末端執(zhí)行器相對(duì)的另一端包括對(duì)射傳感器，所述連接板固定在所述機(jī)械臂的一端，且能夠繞著所述機(jī)械臂的一端進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；所述連接板上還包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和滾珠絲杠，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端連接主動(dòng)輪，所述主動(dòng)輪通過(guò)傳輸帶連接從動(dòng)輪，所述從動(dòng)輪連接滾珠絲杠，所述滾珠絲杠包括左旋滾珠絲杠和右旋滾珠絲杠，所述對(duì)射傳感器包括相對(duì)的發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端和接收端分別通過(guò)螺母固定連接在左旋滾珠絲杠和右旋滾珠絲杠上。本實(shí)用新型提高了晶圓檢測(cè)和搬運(yùn)效率；提高了可變間距的晶圓檢測(cè)裝置的適用范圍以及檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。