一種可變間距的晶圓檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120419188.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214201803U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214201803U 申請公布日 2021-09-14
分類號 G01V8/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 武一鳴;古市昌稔 申請（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供的一種可變間距的晶圓檢測裝置，包括機械臂、連接板和末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器位于連接板的一端，所述連接板中與所述末端執(zhí)行器相對的另一端包括對射傳感器，所述連接板固定在所述機械臂的一端，且能夠繞著所述機械臂的一端進行旋轉(zhuǎn)；所述連接板上還包括主動輪、從動輪、驅(qū)動電機和滾珠絲杠，所述驅(qū)動電機輸出端連接主動輪，所述主動輪通過傳輸帶連接從動輪，所述從動輪連接滾珠絲杠，所述滾珠絲杠包括左旋滾珠絲杠和右旋滾珠絲杠，所述對射傳感器包括相對的發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端和接收端分別通過螺母固定連接在左旋滾珠絲杠和右旋滾珠絲杠上。本實用新型提高了晶圓檢測和搬運效率；提高了可變間距的晶圓檢測裝置的適用范圍以及檢測結(jié)果的準確性。