一種用于晶圓翻轉(zhuǎn)的后置偏心裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110623107.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113352336A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113352336A 申請公布日 2021-09-07
分類號 B25J11/00（2006.01）I;B25J15/06（2006.01）I;B65G47/91（2006.01）I;B65G49/07（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 曲泉鈾;古市昌稔;劉洋 申請（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于晶圓翻轉(zhuǎn)的后置偏心裝置，包括支撐座，固定在支撐座上的θ軸，位于θ軸上的機(jī)械下臂和機(jī)械上臂，固定在機(jī)械上臂末端的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其中，機(jī)械下臂的一端固定在θ軸上，另一端固定在機(jī)械上臂的一端，機(jī)械上臂的另一端固定連接翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括翻轉(zhuǎn)底座，電機(jī)和翻轉(zhuǎn)軸，其中，翻轉(zhuǎn)軸的一端連接固定在翻轉(zhuǎn)底座前端，另一端固定連接末端執(zhí)行器，末端執(zhí)行為中空心結(jié)構(gòu)，且末端執(zhí)行器內(nèi)部包含氣路，末端執(zhí)行器的下端包含均勻分布且與氣路相通的吸盤，氣路的另一端連接真空泵。本發(fā)明可以消除現(xiàn)有技術(shù)中的晶圓與機(jī)械下臂或框架觸碰的問題，同時使得末端執(zhí)行器采用真空吸附晶圓的同時能夠隨意翻轉(zhuǎn)。