晶圓夾持旋轉(zhuǎn)機械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110388523.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113103252A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113103252A 申請公布日 2021-07-13
分類號 B25J11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 劉洋;古市昌稔;曲泉鈾 申請（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓夾持旋轉(zhuǎn)機械手，包括晶圓末端執(zhí)行器、夾持組件、第一同步帶組件及第二同步帶組件，晶圓支撐于晶圓末端執(zhí)行器上，夾持板間距設(shè)于所述晶圓末端執(zhí)行器上，且沿所述晶圓的圓周方向活動設(shè)置，所述第一同步帶組件驅(qū)動第一傳動軸帶動第一軸承、導(dǎo)桿及夾持板繞所述第一軸承的軸向旋轉(zhuǎn)運動，并同步驅(qū)動晶圓末端執(zhí)行器繞所述第一軸承的軸向同向旋轉(zhuǎn)；所述第二同步帶組件傳動連接第二軸承，驅(qū)動所述第二軸承帶動所述導(dǎo)桿沿所述第一軸承的軸向往返運動，并傳動所述夾持板沿所述晶圓的圓心伸縮運動。通過分設(shè)第一同步帶組件和第二同步帶組件實現(xiàn)了晶圓的翻轉(zhuǎn)和夾持，實現(xiàn)了多工位的應(yīng)用。