負(fù)載鎖定裝置及基片傳片方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110242869.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113035752A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113035752A 申請公布日 2021-06-25
分類號 H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 高飛翔;李世敏;馮琳 申請（專利權(quán)）人 上海廣川科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;吳世華
地址 200444 上海市寶山區(qū)山連路799號1幢1層-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種負(fù)載鎖定裝置及基片傳片方法，腔室主體包括：基片基座、若干置放組件和支撐組件，水平狀態(tài)的第一置放件的支撐端平行于所述基片基座的頂面，豎直狀態(tài)的所述第一置放件的所述支撐端垂直于所述基片基座的頂面；初始位置的支撐桿的頂面低于所述基片基座的頂面，第一位置的所述支撐桿的頂面高于所述基片基座的頂面，且高于水平狀態(tài)的所述第一置放件的所述支撐端。通過設(shè)置可翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動的置放組件，實(shí)現(xiàn)2片基片的承載，提高了負(fù)載錯定裝置的基片承載率。