超結(jié)器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022979737.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213660410U 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN213660410U 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) H01L29/06（2006.01）I;H01L29/78（2006.01）I;H01L21/336（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐大朋;薛忠營(yíng);羅杰馨;柴展 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海功成半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 羅泳文
地址 201800上海市嘉定區(qū)城北路235號(hào)1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種超結(jié)器件，包括：1）在第一襯底及第二襯底的第一主面刻蝕出第一溝槽及第二溝槽，溝槽呈倒梯形；2）將第一襯底與第二襯底鍵合；3）減薄第一襯底，并保留一支撐層；4）氧化支撐層，腐蝕去除氧化層，以顯露溝槽，所述溝槽呈紡錘形結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型通過將分別刻蝕形成有倒梯形溝槽的第一襯底與第二襯底鍵合，形成紡錘形溝槽結(jié)構(gòu)，并通過減薄顯露出該紡錘形溝槽結(jié)構(gòu)，紡錘形溝槽結(jié)構(gòu)可以縮小超結(jié)結(jié)構(gòu)中的P型柱和N型柱的電荷差距，使超結(jié)器件達(dá)到電荷平衡，從而提高超結(jié)器件的耐壓性能及降低超結(jié)器件的導(dǎo)通電阻。