一種抑制石英容器對磷化銦熔體污染的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710819817.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107604440A 公開（公告）日 2018-01-19
申請公布號 CN107604440A 申請公布日 2018-01-19
分類號 C30B29/40;C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 范家驊;喬印彬;邱才涌;盧寧 申請（專利權）人 南京金美鎵業(yè)有限公司
代理機構 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權代理有限責任公司 代理人 杜依民
地址 211165 江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)將軍大道718號南京鍺廠內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抑制石英容器對磷化銦熔體污染的方法，用擴散法合成磷化銦時，在密封的石英容器中放置磷和金屬銦，在2.5小時內(nèi)將磷蒸汽壓力升到27.5大氣壓，將金屬銦加熱到1090℃，加快反應速度，可合成致密的磷化銦多晶錠。生成的磷化銦多晶錠載流子濃度均在1015cm?3范圍內(nèi)。