一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開關(guān)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920516004.3 申請日 -
公開（公告）號 CN209461308U 公開（公告）日 2019-10-01
申請公布號 CN209461308U 申請公布日 2019-10-01
分類號 H01H1/00;H01H3/04 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖倩;王競軒;陳濤;劉澤文 申請（專利權(quán)）人 蘇州希美微納系統(tǒng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州唯亞智冠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳曉瑜
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號西北區(qū)9棟402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種翹板結(jié)構(gòu)的RF MEMS接觸式開關(guān)，包括有襯底，襯底上分布有微波傳輸線，微波傳輸線兩側(cè)分布有地結(jié)構(gòu)，地結(jié)構(gòu)內(nèi)開設(shè)有驅(qū)動電極收納槽，驅(qū)動電極收納槽內(nèi)設(shè)置有兩兩鏡像分布的四個開關(guān)驅(qū)動電極，微波傳輸線上平行架設(shè)有懸臂梁，懸臂梁左右兩側(cè)對稱設(shè)置有翹板組件，構(gòu)成“T”型金屬膜橋，微波傳輸線與懸臂梁之間有金屬錨點(diǎn)連接，翹板組件的位置與電極收納槽相對應(yīng)，翹板組件的底部與襯底之間設(shè)置有支點(diǎn)構(gòu)造。由此，采用翹板式結(jié)構(gòu)，具有雙穩(wěn)態(tài)，開關(guān)可靠性更高?！癘N”轉(zhuǎn)“OFF”態(tài)時，由于有驅(qū)動力和懸臂梁自身回復(fù)力的雙重作用，響應(yīng)時間更快。在“OFF”態(tài)時，金屬膜橋與地接觸，使得開關(guān)隔離度更高。