高可靠性RFMEMS數(shù)字可變電容單元

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922262488.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN211208252U 公開（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN211208252U 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類號(hào) H01G7/00;H01G5/38 分類 -
發(fā)明人 王競軒;劉澤文;肖倩;陳濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州希美微納系統(tǒng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉洪勛
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)西北區(qū)9棟402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種高可靠性RF MEMS數(shù)字可變電容單元，包括襯底，襯底上分布有RF電極、地結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)電極，其中地結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)電極分布在RF電極的兩側(cè)，地結(jié)構(gòu)上連接有翹板式上極板，翹板式上極板連接有扭轉(zhuǎn)梁，扭轉(zhuǎn)梁的兩側(cè)分布有驅(qū)動(dòng)電極；RF電極上附有用以隔離翹板式上極板與RF電極的介質(zhì)層；在驅(qū)動(dòng)過程中，翹板式上極板可與RF電極分別形成第一距離、第二距離和第三距離。由此，采用翹板式結(jié)構(gòu)，電容值可控性強(qiáng)。可實(shí)現(xiàn)翹板式上極板與RF電極之間較大的距離變化，即可得到較大的變?nèi)荼取Ｈ粼诘谝痪嚯x電容狀態(tài)與第三距離電容狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換時(shí)，由于有驅(qū)動(dòng)力和懸臂梁自身回復(fù)力的雙重作用，響應(yīng)速度更快。翹板式上極板的兩端及支點(diǎn)處的扭轉(zhuǎn)梁都固定于地結(jié)構(gòu)。