一種陶瓷電容式壓力傳感器的彈性薄基板及制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011588667.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112834085A | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112834085A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號(hào) | G01L1/14 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 趙興奎;廖景昌;周宇波;黃河;沈河江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 襄陽臻芯傳感科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州中合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉召民 |
| 地址 | 441000 湖北省襄陽市東津新區(qū)（經(jīng)開區(qū)）大灣區(qū)（襄陽）工業(yè)園辦公樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種陶瓷電容式壓力傳感器的彈性薄基板及制作方法，包括：50～90份氧化鋁粉，10～30份氧化鋯粉，40～60份溶劑，0.3～0.8份分散劑，0.3～0.8份消泡劑，3～6份增塑劑，6～9份樹脂，其中，份數(shù)均指重量份。方法包括以下步驟：S1：將上述成分通過直徑為3?10mm的鋯球在球磨罐內(nèi)混合球磨制成漿料；S2：將漿料抽真空10～30分鐘后進(jìn)行流延形成生瓷片；S3：將所述生瓷片在沖壓機(jī)上進(jìn)行沖壓，形成生瓷胚；S4：將生瓷坯裝入排膠缽，利用循環(huán)熱風(fēng)干燥箱對(duì)所述生瓷坯加熱；S5：將步驟S4中加熱后生瓷坯用高溫?zé)蔂t燒結(jié)。本發(fā)明所述的彈性薄基板提高了陶瓷電容式壓力傳感器的可靠性。 |
