一種抗介質(zhì)敏感的陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710779833.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN107588870A 公開（公告）日 2018-01-16
申請公布號(hào) CN107588870A 申請公布日 2018-01-16
分類號(hào) G01L1/14;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 廖景昌;趙興奎 申請（專利權(quán)）人 襄陽臻芯傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州中合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙曉芳
地址 441004 湖北省襄陽市襄陽佳海工業(yè)城第A58幢A58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抗介質(zhì)敏感的陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法，包括彈性薄基板和厚基板，所述彈性薄基板上設(shè)置有薄基板金屬電極；所述厚基板上設(shè)置有厚基板金屬電極、環(huán)形金屬電極和厚基板電極焊盤；且彈性薄基板和厚基板之間通過封接材料封裝在一起；所述薄基板金屬電極的圖形面積至少覆蓋厚基板金屬電極和厚基板金屬電極的圖形面積之和。本發(fā)明的壓力傳感器解決了現(xiàn)有陶瓷電容式壓力傳感器在不同測量介質(zhì)條件下的兼容性問題以及彈性薄片表面有水或水汽而導(dǎo)致容量漂移的問題。