一種一體式陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510457754.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN105021326B 公開（公告）日 2018-06-05
申請公布號(hào) CN105021326B 申請公布日 2018-06-05
分類號(hào) G01L1/14;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙興奎;周宇波 申請（專利權(quán)）人 襄陽臻芯傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 襄陽嘉琛知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 嚴(yán)崇姚;潘文建
地址 441004 湖北省襄陽市高新區(qū)佳海工業(yè)城第A58棟A58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的名稱為一種一體式陶瓷電容壓力傳感器及其制造方法。屬于壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域。它主要是解決現(xiàn)有陶瓷電容式壓力傳感器厚片和薄片間密封性和粘結(jié)強(qiáng)度較低，造成可靠性不夠的問題。它的主要特征是：包括彈性薄基板、厚基板、以及其之間的間隙隔離片；彈性薄基板、厚基板和間隙隔離片均為流延成型的氧化鋁或氧化鋯生瓷片疊壓而成；所述彈性薄基板、間隙隔離片和厚基板經(jīng)燒結(jié)后成為一個(gè)整體。本發(fā)明具有確保陶瓷基板間的強(qiáng)度和密封性，提高產(chǎn)品可靠性的特點(diǎn)，主要用于陶瓷電容式壓力傳感器。