一種陶瓷電容式壓力傳感器芯體及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011586941.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112834084A 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112834084A 申請公布日 2021-05-25
分類號 G01L1/14;G01L9/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙興奎;廖景昌;周宇波;黃河;沈河江 申請（專利權(quán)）人 襄陽臻芯傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州中合知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉召民
地址 441000 湖北省襄陽市東津新區(qū)（經(jīng)開區(qū)）大灣區(qū)（襄陽）工業(yè)園辦公樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陶瓷電容式壓力傳感器芯體，包括：第一基板、第二基板、第一電極、第二電極、隔離墩、第一引線孔、第二引線孔和第三引線孔，所述第一電極印刷設(shè)于所述第一基板正面，所述第二電極印刷設(shè)于所述第二基板正面，所述第一基板的正面和第二基板的正面相對設(shè)置，且所述第一基板和第二基板的正面之間設(shè)有所述隔離墩，所述隔離墩一側(cè)與所述第一電極固定連接，另一側(cè)與所述第二基板固定連接；所述第二基板上貫穿設(shè)有所述第一引線孔、第二引線孔和第三引線孔，所述第一引線孔底端為所述隔離墩，所述第二引線孔和第三引線孔底端為所述第二電極。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡潔，便于高效生產(chǎn)，同時具有可靠性高、傳感器介質(zhì)兼容性強等特點。