一種陶瓷電容式壓力傳感器的制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010678119.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111664968A 公開（公告）日 2020-09-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN111664968A 申請(qǐng)公布日 2020-09-15
分類號(hào) G01L1/14(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙興奎;廖景昌;周宇波;黃河;沈河江 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 襄陽臻芯傳感科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州中合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李斌
地址 441000湖北省襄陽市高新區(qū)襄陽佳海工業(yè)城第A58幢A58號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及了一種陶瓷電容式壓力傳感器的制作方法，在陶瓷電容式壓力傳感器制造過程中，對(duì)基板上所成型的電極表面進(jìn)行磨拋，用于使電極表面平整。本發(fā)明的一種陶瓷電容式壓力傳感器的制作方法，對(duì)陶瓷電容式壓力傳感器基板電極的表面進(jìn)行磨拋處理，使電極表面細(xì)膩、平整；進(jìn)而確保陶瓷電容式壓力傳感器的合格率，提高產(chǎn)品的可靠性。??