SiON波導(dǎo)與光纖耦合結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910014594.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109445032A 公開（公告）日 2019-03-08
申請公布號 CN109445032A 申請公布日 2019-03-08
分類號 G02B6/26;G02B6/138;G02B6/136;G02B6/132 分類 光學(xué);
發(fā)明人 袁曉君;耿凱鴿 申請（專利權(quán)）人 科新網(wǎng)通科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京細(xì)軟智谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 葛鐘
地址 471000 河南省洛陽市伊濱區(qū)科技大廈A座6007室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種SiON波導(dǎo)與光纖耦合結(jié)構(gòu)，包括SiON波導(dǎo)，為輸入波導(dǎo)；二氧化硅波導(dǎo)，包覆于SiON波導(dǎo)的外側(cè)；錐形SiON波導(dǎo)，被包覆于二氧化硅波導(dǎo)內(nèi)側(cè)，且處于SiON波導(dǎo)水平面的下方，且橫截面尺寸小于SiON波導(dǎo)的橫截面尺寸，橫截面尺寸沿著光傳輸?shù)姆较驖u擴(kuò)；SiON輸出波導(dǎo)，與錐形SiON波導(dǎo)連接。以及制作SiON波導(dǎo)與光纖耦合結(jié)構(gòu)的方法。本發(fā)明在SiON波導(dǎo)上包覆一層SiO2，使這個(gè)結(jié)構(gòu)與空氣隔開并起到保護(hù)作用，SiON波導(dǎo)與錐形SiON波導(dǎo)的折射率不同，SiON波導(dǎo)能夠與光纖匹配，錐形SiON波導(dǎo)又能夠做到小尺寸，通過該種耦合結(jié)構(gòu)，可以把器件做小，且減小了能耗。