一種用于芯片制造的智能控溫單晶爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921231556.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210916346U | 公開（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申請公布號 | CN210916346U | 申請公布日 | 2020-07-03 |
| 分類號 | C30B15/20;C30B15/14 | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張繼栓 | 申請（專利權(quán)）人 | 山東圣諾實業(yè)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 277500 山東省棗莊市滕州市級索鎮(zhèn)耀國路66號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種用于芯片制造的智能控溫單晶爐，包括爐室、永磁場、下爐室、電極、轉(zhuǎn)軸進口、第一電機、上爐蓋、光學傳感器、溫度感應(yīng)器、第二電機，所述爐室左右兩端固定有永磁場，所述爐室下端固定有下爐室，所述下爐室下端左右兩部豎直貫穿固定有電極，所述下爐室下端中部開有轉(zhuǎn)軸進口，所述第一電機上部通過轉(zhuǎn)軸進口伸入下爐室，所述爐室上端固定有上爐蓋，所述上爐蓋上端右部固定有斜向內(nèi)方向的光學傳感器，所述上爐蓋上端左部固定有斜向內(nèi)方向的溫度感應(yīng)器，所述上爐蓋上端中部安裝有第二電機，本實用新型可以在單晶拉制的過程中時時有效的將熱場的溫度控制在適當?shù)臏囟人?，大大保證了單晶的生產(chǎn)品質(zhì)，提升了制作效率。 |
