板載壓力傳感器的制備方法及其板載壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110720391.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113340514A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號(hào) CN113340514A 申請公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01L9/00（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李玉林;謝文;袁宇飛 申請（專利權(quán)）人 東莞市華芯聯(lián)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市啟信展華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 關(guān)秀娟
地址 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)總部二路17號(hào)1棟1單元501室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及載式壓力傳感器的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及板載壓力傳感器的制備方法，包括如下步驟：制備陶瓷感應(yīng)膜片；制備陶瓷基座；通過玻璃漿料將陶瓷感應(yīng)膜片及陶瓷基座燒結(jié)于一體；激光調(diào)修將板載壓力傳感器輸出零點(diǎn)進(jìn)行調(diào)整、滿足測試基本要求；封裝板載壓力傳感器。通過玻璃燒結(jié)的方式將陶瓷感應(yīng)膜片及將陶瓷基座燒結(jié)于一體，省去了邦定工藝，同時(shí)，陶瓷感應(yīng)膜片不僅起到了感應(yīng)作用還起到了隔離作用，徹底解決介質(zhì)中水分，腐蝕性材料對(duì)傳感器本身的影響，解決板載式傳感器存在的可靠性問題。該制備方法制備的產(chǎn)品的一致性、穩(wěn)定性均得到大幅度提升，與MEMS器件比較，有效提高了傳感器的品質(zhì)及適用范圍。本發(fā)明還提供了板載壓力傳感器。