壓力傳感器激光調(diào)修方法及其壓力傳感器芯片
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110710338.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113295320A | 公開（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113295320A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類號(hào) | G01L9/00（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李玉林;謝文;袁宇飛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東莞市華芯聯(lián)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 東莞市啟信展華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 關(guān)秀娟 |
| 地址 | 523000廣東省東莞市松山湖園區(qū)總部二路17號(hào)1棟1單元501室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及陶瓷壓力傳感器激光調(diào)修的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及壓力傳感器激光調(diào)修方法，包括：惠斯通電橋，還包括：并聯(lián)于所述惠斯通電橋的每一力敏電阻、具有粗/微調(diào)節(jié)功能的激光調(diào)節(jié)電路。本發(fā)明通過(guò)并聯(lián)可調(diào)電阻，具有粗調(diào)及細(xì)調(diào)的功能，可以大幅度提高產(chǎn)品調(diào)阻精度，并降低電阻溫飄，提高產(chǎn)品溫度穩(wěn)定性，激光調(diào)阻后不影響橋路功率，對(duì)傳感器最大耐壓及最大功率有大幅度提升，可滿足苛刻使用環(huán)境的要求。另，本發(fā)明還提供了具有激光調(diào)修功能的壓力傳感器芯片。 |
