一種利用機械調(diào)諧測量電子束流直徑的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811142828.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109855509A 公開（公告）日 2019-06-07
申請公布號 CN109855509A 申請公布日 2019-06-07
分類號 G01B5/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 柴彥科; 曹永升; 穆建中; 馬正軍 申請（專利權(quán)）人 甘肅虹光電子有限責任公司
代理機構(gòu) 甘肅省知識產(chǎn)權(quán)事務中心 代理人 甘肅虹光電子有限責任公司
地址 744000 甘肅省平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)崆峒中路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種利用機械調(diào)諧測試電子束流直徑的方法，所用設(shè)備包括電子束發(fā)射系統(tǒng)、電子束收集系統(tǒng)、真空陶瓷外殼、排氣系統(tǒng)、微調(diào)系統(tǒng)、電流表，電子束發(fā)射系統(tǒng)發(fā)射的電子被電子束收集極收集，由電流表、電子束收集極及大地之間構(gòu)成的回路中有電流流過，電流表顯示數(shù)字，屏蔽片在移動過程中遮擋電子，被遮擋電子的數(shù)量與電流表讀數(shù)成成線性關(guān)系，當電子束全部被屏蔽片遮擋后，電流表讀數(shù)飽和，不在變化。通過電流表出現(xiàn)讀數(shù)及電流表讀數(shù)不在隨屏蔽片移動而變化時，刻度盤前后的刻度差就是電子束直徑。有益效果：測試過程簡便，可重復多次測試；測試精度達到0.02mm，對電真空器件的研究具有重要的意義。