一種利用機(jī)械調(diào)諧測(cè)量電子束流直徑的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821592430.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209069177U 公開（公告）日 2019-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN209069177U 申請(qǐng)公布日 2019-07-05
分類號(hào) G01B5/08（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 柴彥科; 曹永升; 穆建中; 馬正軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 甘肅虹光電子有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 甘肅省知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)中心 代理人 甘肅虹光電子有限責(zé)任公司
地址 744000 甘肅省平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)崆峒中路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是一種利用機(jī)械調(diào)諧測(cè)量電子束流直徑的裝置，電子束發(fā)射系統(tǒng)、電子束收集系統(tǒng)分別固定在真空陶瓷外殼相對(duì)的兩端，排氣系統(tǒng)、微調(diào)系統(tǒng)連接于真空陶瓷外殼；所述電子束收集系統(tǒng)有電子束收集極、散熱片，散熱片固定于電子束收集極外表面；所述排氣系統(tǒng)由真空泵抽氣；所述微調(diào)系統(tǒng)包括調(diào)諧引出筒，彈性管組件和刻度盤，彈性管組件包括固定套、彈性管、調(diào)諧螺桿、屏蔽片、T型連接桿，刻度盤包括軸向刻度筒和徑向刻度筒兩部分，軸向刻度筒與固定套固定在一起，徑向刻度筒套接軸向刻度筒，徑向刻度筒有內(nèi)螺紋，徑向刻度筒的內(nèi)螺紋與調(diào)諧螺桿的外螺紋相配合。有益效果：測(cè)試過(guò)程簡(jiǎn)便，可重復(fù)多次測(cè)試；測(cè)試精度達(dá)到0.02mm。