影像檢測裝置及芯片檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110595120.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113310984A 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113310984A 申請公布日 2021-08-27
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 林廣滿;陳林山;王建勇;范聚吉 申請（專利權）人 深圳市深科達半導體科技有限公司
代理機構 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉艷
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道征程二路2號B棟第二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種影像檢測裝置及芯片檢測系統(tǒng)，影像檢測裝置包括包括拍攝組件、用于照亮所述待測件的光源、第一反射結構和第二反射結構，所述第一反射結構的反射表面相對所述拍攝組件的光軸傾斜設置，所述第二反射結構的反射表面相對待測件的第二表面的法線傾斜設置，且所述第一反射結構的反射表面和所述第二反射結構的反射表面正對設置，所述第二表面的圖像依次經(jīng)過所述第二反射結構和所述第一反射結構的反射，由所述拍攝組件拍攝成像。本發(fā)明提供的影像檢測裝置及芯片檢測系統(tǒng)，可以拍攝芯片的側面圖像，倒角相對芯片的側面占比較大，從而能夠減小誤判的情況發(fā)生。