一種TOPCon太陽能電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110473045.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113193082A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113193082A 申請公布日 2021-07-30
分類號 H01L31/18（2006.01）I;C30B33/10（2006.01）I;C30B33/02（2006.01）I;C30B33/00（2006.01）I;C30B31/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫玉峰;瞿輝;曹玉甲 申請（專利權(quán)）人 常州順風(fēng)太陽能科技有限公司
代理機構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱曉凱
地址 213123江蘇省常州市武進高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種TOPCon太陽能電池的制備方法，包括以下步驟：1）以N型硅片作為襯底進行清洗制絨；2）正面硼擴散；3）背面進行酸清洗、刻蝕；4）制遂穿氧化層以及多晶硅層：先雙面生產(chǎn)一層氧化層，后采用分步法進行雙面多晶硅層的制備；5）背面磷擴散：采用兩步沉積法，先進行低溫沉積低溫推進，然后再進行高溫沉積推進，后降溫退火；6）去除正面PSG,去除正面整面多晶硅層；7）去BSG/PSG；8）雙面鈍化；9）印刷燒結(jié)。本發(fā)明通過雙面生長Poly Si的工藝很好的解決了Poly Si繞鍍的清洗問題；同時可有效提升電池的轉(zhuǎn)化效率。