一種遂穿氧化鈍化電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010258936.X 申請日 -
公開(公告)號 CN111524999A 公開(公告)日 2020-08-11
申請公布號 CN111524999A 申請公布日 2020-08-11
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁寧一;王芹芹;丁建寧;程廣貴;王書博 申請(專利權)人 常州順風太陽能科技有限公司
代理機構 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙) 代理人 常州大學
地址 213164江蘇省常州市武進區(qū)滆湖路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于太陽能光伏行業(yè)領域,尤其涉及一種遂穿氧化鈍化電池的制備方法。背面采用拋光面的結構可有效的提升光利用率,采用一步沉積多晶硅磷摻雜及生長厚氧化掩膜層,減少了工藝步驟;然后進行繞鍍整面去除,加大了工藝窗口,規(guī)避了目前常用的工藝流程是先正面硼擴散再背面多晶硅摻雜的弊端——繞鍍去除的難度,然而即使去除干凈,必然也會造成一定的印記,影響外觀良率。同時本發(fā)明方法引入退火與硼摻雜二合一的方式,不僅簡化了流程,同時無外觀不良,工藝流程短,能耗少,有效的提高了生產良率和質量等特點。??