一種遂穿氧化鈍化電池的制備方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010258936.X | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN111524999A | 公開(公告)日 | 2020-08-11 |
申請公布號 | CN111524999A | 申請公布日 | 2020-08-11 |
分類號 | H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 袁寧一;王芹芹;丁建寧;程廣貴;王書博 | 申請(專利權)人 | 常州順風太陽能科技有限公司 |
代理機構 | 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 常州大學 |
地址 | 213164江蘇省常州市武進區(qū)滆湖路1號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明屬于太陽能光伏行業(yè)領域,尤其涉及一種遂穿氧化鈍化電池的制備方法。背面采用拋光面的結構可有效的提升光利用率,采用一步沉積多晶硅磷摻雜及生長厚氧化掩膜層,減少了工藝步驟;然后進行繞鍍整面去除,加大了工藝窗口,規(guī)避了目前常用的工藝流程是先正面硼擴散再背面多晶硅摻雜的弊端——繞鍍去除的難度,然而即使去除干凈,必然也會造成一定的印記,影響外觀良率。同時本發(fā)明方法引入退火與硼摻雜二合一的方式,不僅簡化了流程,同時無外觀不良,工藝流程短,能耗少,有效的提高了生產良率和質量等特點。?? |
