一種背面選擇性發(fā)射極TOPCON電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110355312.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113140655A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113140655A 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0224（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫玉峰;瞿輝;曹玉甲 申請（專利權(quán)）人 常州順風(fēng)太陽能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱曉凱
地址 213123江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種背面選擇性發(fā)射極TOPCON電池的制備方法，包括如下步驟：1）對N型硅片清洗制絨；2）正面硼擴(kuò)散；3）背面酸洗、刻蝕或者拋光；4）背面氧化硅、多晶硅的復(fù)合雙層制作；5）背面磷擴(kuò)散；6）去除正面第二層多晶硅；7）印刷掩膜層；8）酸洗去正背面PSG、堿洗，堿拋形成輕、重?cái)U(kuò)區(qū)；9）正面沉積氧化鋁；10）正面減反膜沉積；11）背面鈍化膜沉積；12）電極印刷。本發(fā)明在爐管內(nèi)直接制備出SiOx+Poly Si+SiOx+Poly Si復(fù)合雙層結(jié)構(gòu)，同時(shí)只需在原有的TOPCON電池制備流程上增加一步掩膜工序，通過清洗工藝就可以一步形成重、輕擴(kuò)區(qū)，降低了制造成本低，易于實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化。