一種空穴選擇性鈍化接觸電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110458226.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113193081A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113193081A 申請公布日 2021-07-30
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王芹芹;瞿輝;曹玉甲 申請（專利權）人 常州順風太陽能科技有限公司
代理機構 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 朱曉凱
地址 213123江蘇省常州市武進高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽湖路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種空穴選擇性鈍化接觸電池的制備方法，包括如下步驟：（1）雙面制絨；（2）無氧硼摻雜；（3）背面形貌；（4）沉積微晶硅；（5）制備細柵線圖形；（6）形成輕摻雜p+層：利用酸刻蝕的方式去除非掩膜區(qū)域的微晶硅并刻蝕硼摻雜區(qū)域形成P+層；（7）形成高摻雜多晶硅p++層及n+層：通過熱氧化后進行磷摻雜或者旋涂的方式經(jīng)過高溫退火分別形成了高摻雜多晶硅p++層及n+層；（8）清洗；（9）鈍化；（10）絲網(wǎng)印刷。本發(fā)明制備流程簡易方便，同時可有效的提升電池效率，且適合批量化生產(chǎn)。