一種空穴選擇性鈍化接觸電池的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110458226.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113193081A 公開（公告）日 2021-07-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN113193081A 申請(qǐng)公布日 2021-07-30
分類號(hào) H01L31/18（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王芹芹;瞿輝;曹玉甲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州順風(fēng)太陽(yáng)能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱曉凱
地址 213123江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)陽(yáng)湖路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種空穴選擇性鈍化接觸電池的制備方法，包括如下步驟：（1）雙面制絨；（2）無(wú)氧硼摻雜；（3）背面形貌；（4）沉積微晶硅；（5）制備細(xì)柵線圖形；（6）形成輕摻雜p+層：利用酸刻蝕的方式去除非掩膜區(qū)域的微晶硅并刻蝕硼摻雜區(qū)域形成P+層；（7）形成高摻雜多晶硅p++層及n+層：通過熱氧化后進(jìn)行磷摻雜或者旋涂的方式經(jīng)過高溫退火分別形成了高摻雜多晶硅p++層及n+層；（8）清洗；（9）鈍化；（10）絲網(wǎng)印刷。本發(fā)明制備流程簡(jiǎn)易方便，同時(shí)可有效的提升電池效率，且適合批量化生產(chǎn)。