一種雙面選擇性發(fā)射極高效晶硅電池及其制備方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010258865.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN111524983A | 公開(kāi)(公告)日 | 2020-08-11 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN111524983A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
分類(lèi)號(hào) | H01L31/0224(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 袁寧一;王芹芹;丁建寧;程廣貴;王書(shū)博 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 常州順風(fēng)太陽(yáng)能科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 常州市英諾創(chuàng)信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 常州大學(xué) |
地址 | 213164江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)滆湖路1號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明屬于太陽(yáng)能光伏行業(yè)領(lǐng)域,具體提供了一種雙面選擇性發(fā)射極高效晶硅電池及其制備方法;采用雙面選擇性發(fā)射極的結(jié)構(gòu),在硼摻雜的重?fù)诫s區(qū)域?yàn)檠趸X代替氧化硅作為遂穿層的多晶硅結(jié)構(gòu),可達(dá)到超過(guò)>1E20atom/cm3的恒定表面濃度提升填充因子(FF),而輕擴(kuò)區(qū)域?yàn)閱渭兊呐饟诫s,重?cái)U(kuò)和輕擴(kuò)的硼摻雜工藝可在一步中實(shí)現(xiàn),簡(jiǎn)化了流程。對(duì)于磷摻雜區(qū)域采用氧化硅作為遂穿層,重?fù)诫s區(qū)域?yàn)殡p層多晶硅(poly)結(jié)構(gòu)具有高表面濃度,改善金屬化接觸,輕擴(kuò)區(qū)域?yàn)閱螌訙\摻雜poly結(jié)構(gòu),進(jìn)而提升開(kāi)路電壓(Voc)。雙面選擇性發(fā)射極的形成有效地利用了掩膜刻蝕的方式。此結(jié)構(gòu)可有效的提升電池效率,且適合批量化生產(chǎn)。?? |
