一種可除雜質(zhì)的超高純制氮裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210458090.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114715860A 公開(kāi)(公告)日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114715860A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類(lèi)號(hào) C01B21/04(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 鄧欣;王虎林;盛晉江 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 宏芯氣體(上海)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖市昌強(qiáng)專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 201900上海市寶山區(qū)長(zhǎng)逸路188號(hào)1幢A-1339室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種可除雜質(zhì)的超高純制氮裝置,包括精餾塔體,精餾塔體的內(nèi)部設(shè)置有蒸餾層與除雜質(zhì)層,除雜質(zhì)層設(shè)置于蒸餾層的上部;本發(fā)明采用精餾方式獲得高純氮?dú)?,降低產(chǎn)品氮中氧氬雜質(zhì)含量能達(dá)到ppb級(jí)別的雜質(zhì);由于精餾并不能除去氫、一氧化碳雜質(zhì),同時(shí)每套設(shè)備周遭環(huán)境中雜質(zhì)含量不同,且不同輪次的生產(chǎn)過(guò)程對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)要求不同,因此采用吸附的方式預(yù)除空氣中的氫及一氧化碳;將除氫、除一氧化碳吸附劑分層填裝在除水、二氧化碳的裝置中,同時(shí)也減少能耗的消耗;即整套裝置即提高了氮?dú)猱a(chǎn)品純度,同時(shí)也節(jié)省了能耗;本裝置不需要額外增加設(shè)備,氮?dú)獠粌H能滿(mǎn)足GB/T8979?2008中超純氮定義,且雜質(zhì)的含量均可在ppb等級(jí)。