一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111321362.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113816338A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113816338A 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) C01B7/07（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 杜大艷;曹小林;吳祥虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉誠(chéng)
地址 443500湖北省宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣龍舟坪鎮(zhèn)龍舟大道52號(hào)（馨農(nóng)家園）2棟1102號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝，以工業(yè)產(chǎn)品氣體為原料，采用高分子滲透膜、金屬陽(yáng)離子交換樹(shù)脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結(jié)合，可將組分中CO2雜質(zhì)脫除至0.1ppm以下、金屬離子含量脫除至10ppt以下；所述制備工藝擺脫了現(xiàn)有技術(shù)對(duì)原料的依賴，在生產(chǎn)超高純氯化氫氣體的同時(shí)產(chǎn)生多種品質(zhì)的氯化氫氣體，尾氣減少的同時(shí)易于處理，適用于工業(yè)化推廣。