一種高純電子級(jí)氯氣純化生產(chǎn)裝置及其工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110680130.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113321184A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113321184A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) C01B7/07（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 曹小林;杜大艷;杜鵬舉;方強(qiáng);黃夢(mèng)元;王宙宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龍凱
地址 443000湖北省宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣龍舟坪鎮(zhèn)龍舟大道52號(hào)（馨農(nóng)家園）2棟1102號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種高純電子級(jí)氯氣純化生產(chǎn)裝置及其工藝，包括液氯儲(chǔ)罐、汽化器、氯水洗滌塔、冷凝塔、吸附器、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、膜壓機(jī)、過(guò)濾器和收集瓶，液氯儲(chǔ)罐連通于汽化器，汽化器通過(guò)氯水洗滌塔連通于冷凝塔，冷凝塔通過(guò)吸附器連通于脫輕精餾塔，脫輕精餾塔連接脫重精餾塔，脫重精餾塔通過(guò)膜壓機(jī)連通于收集瓶，膜壓機(jī)與收集瓶之間連接有過(guò)濾器。本發(fā)明采用液相進(jìn)料避免三氯化氮富集在液氯儲(chǔ)罐與液氯發(fā)生爆炸，氯水洗滌塔和脫重精餾塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高純氯氣，氯水洗滌塔可以除去金屬氯化物和非金屬氯化物，提高氯氣的純度，避免了對(duì)電子材料的影響；吸附器、脫輕精餾塔和脫重精餾塔，可提高對(duì)其他氣體去除效果；提高氯氣的純度。