一種高純電子級氯氣純化生產(chǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121372068.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215101986U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215101986U 申請公布日 2021-12-10
分類號 C01B7/07（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 曹小林;杜大艷;杜鵬舉;方強(qiáng);黃夢元;王宙宇 申請（專利權(quán)）人 湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龍凱
地址 443000湖北省宜昌市長陽土家族自治縣龍舟坪鎮(zhèn)龍舟大道52號（馨農(nóng)家園）2棟1102號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高純電子級氯氣純化生產(chǎn)裝置，包括液氯儲罐、汽化器、氯水洗滌塔、冷凝塔、吸附器、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、膜壓機(jī)、過濾器和收集瓶，液氯儲罐連通于汽化器，汽化器通過氯水洗滌塔連通于冷凝塔，冷凝塔通過吸附器連通于脫輕精餾塔，脫輕精餾塔連接脫重精餾塔，脫重精餾塔通過膜壓機(jī)連通于收集瓶，膜壓機(jī)與收集瓶之間連接有過濾器。本實(shí)用新型采用液相進(jìn)料避免三氯化氮富集在液氯儲罐與液氯發(fā)生爆炸，氯水洗滌塔和脫重精餾塔可以除去三氯化氮，避免三氯化氮污染高純氯氣；氯水洗滌塔可以除去金屬氯化物和非金屬氯化物，提高氯氣的純度，避免了對電子材料的影響；吸附器、脫輕精餾塔和脫重精餾塔，可提高對其他氣體雜質(zhì)的去除效果；提高氯氣的純度。