一種儲(chǔ)存和循環(huán)回收氯硅烷的裝置及工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110039326.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102287616B 公開（公告）日 2013-06-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN102287616B 申請(qǐng)公布日 2013-06-12
分類號(hào) F17D1/08(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 唐猷成;王恒孝;黎展榮;蒲曉東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司
地址 614000 四川省樂山市樂高大道2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種儲(chǔ)存和循環(huán)回收氯硅烷的裝置及循環(huán)回收氯硅烷的工藝。本發(fā)明儲(chǔ)存氯硅烷的裝置包括氯硅烷儲(chǔ)罐、冷凝器，氯硅烷儲(chǔ)罐與冷凝器之間設(shè)置有氯硅烷氣體管道和氯硅烷冷凝液回流管，在氯硅烷氣體管道上設(shè)置了氣動(dòng)開關(guān)閥，在冷凝器的氯硅烷冷凝液管與氯硅烷冷凝液回流管之間增設(shè)了緩沖罐、過濾器、氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥，緩沖罐頂部與冷凝器氣相入口之間還設(shè)置有回氣管，氯硅烷冷凝管的出口處設(shè)置有信號(hào)接收器，信號(hào)接收器通過控制器與氣動(dòng)開關(guān)閥及氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥之間信號(hào)連接。本發(fā)明過關(guān)閉氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥和堵塞過濾器，能有效地阻止泄漏的冷卻循環(huán)水進(jìn)入氯硅烷儲(chǔ)罐并與其中的氯硅烷發(fā)生反應(yīng)，避免重大安全事故的發(fā)生。