三氯氫硅合成氣除塵系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220190917.9 申請日 -
公開(公告)號 CN202516455U 公開(公告)日 2012-11-07
申請公布號 CN202516455U 申請公布日 2012-11-07
分類號 B01D50/00(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 吳海濤;王嶺;蒲曉東;崔萍 申請(專利權)人 四川新光硅業(yè)科技有限責任公司
代理機構 四川力久律師事務所 代理人 四川新光硅業(yè)科技有限責任公司
地址 614000 四川省樂山市樂高大道2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了三氯氫硅合成氣除塵系統(tǒng),包括氣固分離器(1)、噴淋塔(2)、蒸發(fā)釜(3)、液固過濾器(5),氣固分離器的氣體輸出端(102)、蒸發(fā)釜的輸入端(301)和蒸發(fā)釜的氣相輸出端(302)分別與噴淋塔(2)底部連接,所述除塵系統(tǒng)還包括廢渣液收集裝置(4),氣固分離器的廢渣輸出端(103)和蒸發(fā)釜的渣漿輸出端(303)分別與所述廢渣液收集裝置(4)的輸入端連接,廢渣液收集裝置的輸出端(404)與液固過濾器的輸入端(502)連接。本實用新型系統(tǒng)連續(xù)運行時間長,減少了單獨對廢渣進行水解處理的水解處理裝置,在使用本實用新型系統(tǒng)時,工序簡單,氯硅烷回收率提高,減少了氯硅烷排放。