多晶硅生產(chǎn)的尾氣回收處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220132869.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN202490563U 公開（公告）日 2012-10-17
申請公布號(hào) CN202490563U 申請公布日 2012-10-17
分類號(hào) B01D53/18(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 周祥順;王嶺;蒲曉東;劉小鋒;王大海 申請（專利權(quán)）人 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司
地址 614000 四川省樂山市樂高大道2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及尾氣回收系統(tǒng)領(lǐng)域，具體涉及多晶硅生產(chǎn)的尾氣回收處理系統(tǒng)，包括由管道連接的吸收塔（3）、脫吸塔Ⅰ（1），還包括與脫吸塔Ⅰ（1）通過管道連接的脫吸塔Ⅱ（2）。本實(shí)用新型多晶硅生產(chǎn)的尾氣回收處理系統(tǒng)只包含了一個(gè)吸收塔和兩個(gè)精餾塔，結(jié)構(gòu)簡單，占地小，降低了設(shè)備投入成本；對尾氣中成分進(jìn)行分離，使尾氣中氫氣、氯化氫和二氯二氫硅都得到了回收，實(shí)現(xiàn)了尾氣回收時(shí)被回收的各組分之間較徹底的分離。