三氯氫硅汽化工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110160665.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102249242B 公開（公告）日 2013-06-12
申請公布號 CN102249242B 申請公布日 2013-06-12
分類號 C01B33/035(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 劉暢;王嶺;張維;劉維 申請（專利權(quán)）人 四川新光硅業(yè)科技有限責任公司
代理機構(gòu) 四川力久律師事務(wù)所 代理人 四川新光硅業(yè)科技有限責任公司
地址 614000 四川省樂山市市中區(qū)車子鎮(zhèn)樂高大道2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及到多晶硅生產(chǎn)工藝，具體地說涉及到一種三氯氫硅的汽化工藝，屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的三氯氫硅汽化工藝，包括（1）精餾得到的高純?nèi)葰涔枰后w經(jīng)計量后進入蒸發(fā)器蒸發(fā)；（2）蒸發(fā)得到的三氯氫硅氣體與經(jīng)計量后的氫氣在氣體混合器混合，得到混合氣。本發(fā)明的三氯氫硅汽化工藝，采用三氯氫硅氣體與氫氣進行混合，可以得到配比穩(wěn)定、混合均勻的混合氣；原料的混合更均勻，有利于還原爐內(nèi)多晶硅硅棒的均勻生長，生長出的多晶硅產(chǎn)品晶粒均勻、外觀質(zhì)量較好。