一種電阻式柔性壓力傳感器件及其制備方法、傳感器陣列
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910413111.8 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN110068404A | 公開(公告)日 | 2021-06-01 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN110068404A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
分類號(hào) | G01L1/22;G01L9/04 | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 丁小恒;曹海琳;孫思雨;李明愚;郭悅 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 深圳烯創(chuàng)先進(jìn)材料研究院有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳市添源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 羅志偉 |
地址 | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科技南十路6號(hào)深圳航天科技創(chuàng)新研究院大廈C座401-404房間 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種電阻式超薄柔性壓力傳感器件,包括疊層放置的第一柔性薄膜基底和第二柔性薄膜基底,所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底之間包含至少一層印制圖案化的電極對(duì)和至少一層具有自組裝微納表面結(jié)構(gòu)的壓敏材料層,其中所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底用于傳遞力載荷,同時(shí)密封保護(hù)所述電極對(duì)和所述壓敏材料層。本發(fā)明還提供了一種傳感器陣列。本發(fā)明還提供了一種電阻式柔性壓力傳感器件的制備方法。本發(fā)明的有益效果是:提供了一種電阻式柔性壓力傳感器件,具有高靈敏度、大量程、線性度高、制備工藝簡單、成本低、可大面積大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。 |
