一種電阻式柔性壓力傳感器件及其制備方法、傳感器陣列

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910413111.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110068404A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN110068404A 申請公布日 2021-06-01
分類號 G01L1/22;G01L9/04 分類 測量；測試;
發(fā)明人 丁小恒;曹海琳;孫思雨;李明愚;郭悅 申請（專利權(quán)）人 深圳烯創(chuàng)先進材料研究院有限公司
代理機構(gòu) 深圳市添源知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 羅志偉
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科技南十路6號深圳航天科技創(chuàng)新研究院大廈C座401-404房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電阻式超薄柔性壓力傳感器件，包括疊層放置的第一柔性薄膜基底和第二柔性薄膜基底，所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底之間包含至少一層印制圖案化的電極對和至少一層具有自組裝微納表面結(jié)構(gòu)的壓敏材料層，其中所述第一柔性薄膜基底、第二柔性薄膜基底用于傳遞力載荷，同時密封保護所述電極對和所述壓敏材料層。本發(fā)明還提供了一種傳感器陣列。本發(fā)明還提供了一種電阻式柔性壓力傳感器件的制備方法。本發(fā)明的有益效果是：提供了一種電阻式柔性壓力傳感器件，具有高靈敏度、大量程、線性度高、制備工藝簡單、成本低、可大面積大批量生產(chǎn)的優(yōu)點。