一種電阻式高靈敏柔性壓力傳感器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910409890.4 申請日 -
公開(公告)號 CN110057478B 公開(公告)日 2021-03-16
申請公布號 CN110057478B 申請公布日 2021-03-16
分類號 G01L1/22(2006.01)I;G01L9/04(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 孫思雨;曹海琳;丁小恒;李明愚;郭悅 申請(專利權(quán))人 深圳烯創(chuàng)先進(jìn)材料研究院有限公司
代理機構(gòu) 深圳市添源知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 羅志偉
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道科技南十路6號深圳航天科技創(chuàng)新研究院大廈C座401-404房間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電阻式高靈敏柔性壓力傳感器件,包括疊層設(shè)置的第一柔性薄膜基底、壓敏層、環(huán)形電極層和第二柔性薄膜基底,其中,所述壓敏層位于所述第一柔性薄膜基底、環(huán)形電極層之間,所述環(huán)形電極層位于所述壓敏層、第二柔性薄膜基底之間,所述環(huán)形電極層包括環(huán)形電極和電極引出端,所述環(huán)形電極與所述電極引出端連接,所述第一柔性薄膜基底與所述第二柔性薄膜基底通過粘性材料封裝,所述壓敏層包括位于同一平面的外圈壓敏層和內(nèi)圈壓敏層,所述外圈壓敏層的直徑大于所述內(nèi)圈壓敏層,所述內(nèi)圈壓敏層的表面電阻大于所述外圈壓敏層的表面電阻。本發(fā)明的有益效果是:兼具較高靈敏度與量程輸出曲線無突變。??