一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910014257.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109917541A 公開（公告）日 2019-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109917541A 申請(qǐng)公布日 2019-06-21
分類號(hào) G02B26/08（2006.01）I; A61L2/10（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 汪際軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 全普光電科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號(hào)8層806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種殺菌MEMS發(fā)光微鏡及殺菌方法，利用反射鏡的快速旋轉(zhuǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)微觀掃描即像素級(jí)掃描，紫外發(fā)光元件隨著反射鏡的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)紫外光輻射，有效的提高了殺菌面積和殺菌效率。并且，由于將紫外發(fā)光器件與MEMS掃描微鏡芯片集成于一體，大大降低了器件尺寸，實(shí)現(xiàn)了器件的輕薄化。