自發(fā)光自成像MEMS微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910014363.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109917543A 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN109917543A 申請公布日 2019-06-21
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 汪際軍 申請（專利權(quán)）人 全普光電科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號8層806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種自發(fā)光自成像MEMS微鏡，利用可見光發(fā)射單元發(fā)射可見光光線，利用圖像獲取單元獲取物體的圖像信息數(shù)據(jù)。其中，MEMS掃描微鏡芯片上集成了可見光發(fā)射單元、圖像獲取單元，可以伴隨著反射鏡沿扭臂的擺動(dòng)而向外界發(fā)出可見光光束或接受外界的反射的可見光光束光束，利用反射鏡的擺動(dòng)來實(shí)現(xiàn)大量像素的快速生成，從而確保了在實(shí)時(shí)傳輸過程中生成的動(dòng)態(tài)圖像的分辨率和清晰度；同時(shí)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)發(fā)光，提高發(fā)光均勻性，提高圖像探測掃描速率，降低光能損耗，提高圖像亮度和分辨率。