一種MEMS發(fā)光微鏡及光發(fā)射方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910014272.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN109557663A | 公開（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申請公布號 | CN109557663A | 申請公布日 | 2019-04-02 |
| 分類號 | G02B26/08（2006.01）I | 分類 | 光學; |
| 發(fā)明人 | 汪際軍 | 申請（專利權）人 | 全普光電科技（上海）有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號8層806 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種MEMS發(fā)光微鏡及光發(fā)射方法，將光發(fā)射單元集成于MEMS掃描微鏡的反射鏡中，MEMS掃描微鏡沿著扭臂進行擺動，每擺動一次，光發(fā)射單元擺動并發(fā)射出隨之擺動的光束，從而實現(xiàn)動態(tài)發(fā)光。因此，本發(fā)明的MEMS發(fā)光微鏡可以應用于照明、光探測和凈化領域，實現(xiàn)光源的動態(tài)發(fā)射，提高發(fā)光均勻性，提高圖像探測掃描速率，降低光能損耗，提高圖像亮度和分辨率。 |
