MEMS紅外探測微鏡、裝置及探測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910014361.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109813436A 公開（公告）日 2019-05-28
申請公布號 CN109813436A 申請公布日 2019-05-28
分類號 G01J5/00（2006.01）I; G01J5/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 汪際軍 申請（專利權）人 全普光電科技（上海）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 200000 上海市嘉定區(qū)南翔鎮(zhèn)滬宜公路1185號8層806
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種本發(fā)明的MEMS紅外探測微鏡、裝置及探測方法，利用紅外發(fā)射單元發(fā)射紅外光線，利用MEMS圖像掃描單元獲取物體的圖像信息數(shù)據(jù)。其中，圖像掃描單元采用的MEMS掃描微鏡芯片上集成了紅外發(fā)射單元、圖像獲取單元，可以伴隨著反射鏡沿扭臂的擺動而向外界發(fā)出紅外光束或接受外界的反射的紅外光束，利用反射鏡的擺動來實現(xiàn)大量像素的快速生成，從而確保了在實時傳輸過程中生成的動態(tài)紅外溫度圖像的分辨率和清晰度；同時實現(xiàn)動態(tài)發(fā)光，提高發(fā)光均勻性，提高圖像探測掃描速率，降低光能損耗，提高圖像亮度和分辨率。